GB/T 14601-1993
电子工业用气体 高纯氨
Gases for electronic industry. High purity ammonia
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- 标准号
- GB/T 14601-1993
- 发布日期
- 1993年08月26日
- 实施日期
- 1994年07月01日
- 废止日期
- 2010-05-01
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 发布单位
- CN-GB
- 代替标准
- GB/T 14601-2009
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。 分子式：NH3 相对分子质量：17.031（按1989年国际相对原子质量）