作为良好的气体绝缘体,被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂,广泛应用于微电子技术领域,用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源,在制造低损耗优质单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。...
含氟温室气体,简称F-gas,包括《联合国气候变化框架公约》(UNFCCC)之《京都议定书》包含的7类温室气体中的4类,即氢氟碳化物(HFCs)、全氟化碳(PFCs)、六氟化硫( SF6)和三氟化氮(NF3)。含氟温室气体具有极高的全球增温潜势(GWP),如NF3的GWP100高达15750,而SF6的GWP100高达23500。...
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