如果真空室布局不当且涡轮分子泵直接安装在其上时,则会发生真空室变形的情况,情况最严重时还会造成涡轮分子泵扭曲,甚至会与真空室法兰脱离。近年来,主要受到半导体工业的驱动,泵制造商已经通过碰撞实验和控制分析对泵壳和入口法兰上的力矩和受力进行了确定和测试。实验发现,连接到真空室的法兰原则上应该按 ISO-F 执行。通过长圆孔及使用 ISO-CF 与固定螺钉,防止带 ISO-F 法兰的泵发生转动。...
事实上,在研发和工业领域的大量应用都需要极低的绝对压力,即高真空环境。得名于涡轮机系列产品,涡轮分子泵代表着全球领先的技术标准。转速高达 90,000 rpm 的高速转子能产生应用所需的压力条件,从而产生在高真空和超高真空范围内的高达 10-11 mbar 的真空度。完美的真空解决方案 满足最高要求普发真空拥有抽速介于10到2,700 升/秒的完整涡轮分子泵产品系列。...
以最合理的价格实现最完美的真空解决方案通常是决策的主要标准。但这就会存在一种风险,即为了降低成本,人们很可能会选择一个不太理想的真空解决方案,这一决定将最终导致客户设备的正常运行时间降低,甚至会为此花费更多的维修成本。从长远来看,选择值得信赖的真空泵和相应的配件以及合理的监控和运行模式能够为您带来更多的效益。在选择和操作涡轮分子泵时,犯下许多错误并不鲜见。...
普发真空推出了寿命更长、振动更小、噪声更低的新型 HiPace 80 Neo 涡轮分子泵,同时问世的还有普发真空专为涡轮分子泵转子开发的 Laser Balancing™ 激光动平衡技术。采用这项专利技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。...
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