贯通件普发真空提供种类丰富的真空馈通件,法兰尺寸齐全,用于在高真空和超高真空应用中传递电流、电压、热电偶和液体。此外,还有用于旋转、轴向和旋转/轴向运动的机械真空馈通件,用于高真空范围内的弹性密封馈通件,及用于超高真空应用的磁耦合或波纹管密封馈通件。又到了大家期待已久的获奖名单公布的时刻了。在翘首以盼获奖名单的同时,来看看我们这次又会带来什么样的惊喜呢?...
法兰和密封垫的材料必须匹配。不锈钢和铜具有相似的热膨胀系数,因此是一个很好的组合。不锈钢和铝只是有限的匹配,因为在温度超过150℃后,法兰连接在冷却后往往不再紧密。性能其次是材料的处理和可用性,因为它们应该能够以合理的可负担的努力进行加工,当然还必须有可用的材料。由于超高真空技术的低需求,没有自己的材料开发,我们必须使用已经存在的材料。奥氏体不锈钢特别适合于超高真空应用。...
默认情况下,一些生产商为具有 ISO-CF-F 法兰的超高真空版本提供水冷却。烘烤过程至少需要 6 个小时。3.7.为涡轮分子泵排气如果旋片泵用作前级泵,当前真空至高真空之间压力已经平衡时,没有经过排气的涡轮分子泵在停止转动后会受到碳氢化合物的污染。如果高真空侧尚未安装阀门,那么污染物将会扩散到接收器或设备中。对于大型腔室来说,气体吸入非常迅速,这可能会导致转子受损,如 3.1 节中所提及的。...
超高真空烘烤系统具有以下特点:具有电抛光内表面的圆柱形不锈钢室能够通过内置的冷却盘管和制冷/加热循环器加热到所需的运转温度。室门配备了一个氟橡胶(FPM) 制成的双密封胶圈,能够在不更换密封胶圈的前提下轻松开关不锈钢室。双密封胶圈通过粗抽泵排空气体以减少渗透。不锈钢室上的所有其它法兰都采用了 CF 法兰(ConFlat®) 以减少渗透。CF 法兰密封由金属制成,最常用的密封材料是铜。...
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