BS EN ISO 14644-1:2015
洁净室和相关的受控环境 按颗粒浓度分类空气洁净度
Cleanrooms and associated controlled environments. Classification of air cleanliness by particle concentration
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- 标准号
- BS EN ISO 14644-1:2015
- 发布
- 2016年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN ISO 14644-1:2015
- 引用标准
- ASTM F312-08 IEST-G-CC1003 IEST-G-CC1004 ISO 14644-2:2015 ISO 14644-7 ISO 21501-4:2007 JIS B 9920:2002
- 被代替标准
- BS EN ISO 14644-1:1999
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