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光学组件的表面质量是对可能会在制造和处理过程中产生的表面缺陷（划痕和凹坑或麻点）的评估。表面质量对激光应用比对成像应用更重要，因为表面缺陷可能会引发激光诱导损伤。需要大功率的敏感系统也可能会因为表面缺陷而形成光通量变化和散射的增加。比起适用于可见光或 IR 系统的光学元件，适用于 UV 波长的光学元件对表面质量公差的要求更严格，因为波长越短，接受的散射量越高。...
根据每10mm扫描的微缺陷的光滑度，将抛光等级指定为1-4，如下表1所示:表1:用微观缺陷表示的光滑度使用的统计方法，在图1中显示为“RQ 4 ”:这将指示用于测量表面粗糙度的统计方法，后面是值。空间带宽，在图1中显示为“1/0.003 ”:这指定了从上限到下限的空间带宽范围。02空间频率和频率组当量化光学元件的表面纹理时，重要的是定义所测量的空间分辨率的级别。...
由于这些缺陷的尺寸相对较小，因此当考虑膜的整体特性（例如群延迟色散和反射率）时，光束的受影响部分变得无关紧要。虽然在大多数情况下可以忽略不计，但需要小光束尺寸或超低损耗的应用可能会因这些缺陷而增加通过系统的散射。为了满足更严格的规范，可以采取特殊措施来减少整体散射，例如从超级抛光基板开始。06Edmund Optics®的计量衡量你所做的是制造业的一个关键组成部分。...
LAYERTEC已开发出一种自动化测量系统，用于检测和分析光学表面上的缺陷和划痕。该系统使LAYERTEC能够根据ISO 10110-7对缺陷大小进行分类。因此，质量控制程序（如最终检验）得以简化，特别是对于规定缺陷尺寸低于25微米的高质量光学元件。镀膜测量工具04简介精密光学，光学涂层，常见激光器类型的光学元件选择对于生产和研发而言，质量控制非常重要。...
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