ISO 15632:2021
微光束分析.带半导体探测器能量发散X射线分光仪的仪器规范
Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
ISO 15632:2021 发布历史
ISO 15632:2021由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2021-02-00。
ISO 15632:2021在国际标准分类中归属于: 71.040.99 有关分析化学的其他标准。
ISO 15632:2021 发布之时，引用了标准
ISO 15632:2021的历代版本如下：
- 2021年 ISO 15632:2021 微光束分析.带半导体探测器能量发散X射线分光仪的仪器规范
- 2012年 ISO 15632:2012 微光束分析.带半导体探测器能量发散X射线分光仪的仪器规范
- 2002年 ISO 15632:2002 微光束分析.带半导体探测器的能量发散X射线分光仪的仪器规范
该文件定义了表征能量色散 X 射线光谱仪的最重要的量，该能量色散 X 射线光谱仪由半导体探测器、前置放大器和信号处理单元作为基本部件组成。 本文件仅适用于具有基于固态电离原理运行的半导体探测器的光谱仪。 本文件规定了连接到扫描电子显微镜（SEM）或电子探针微量分析仪（EPMA）的光谱仪的最低要求以及如何检查相关仪器性能参数。 ISO 22309[2] 和 ASTM E1508[3] 中概述了实际分析所用的程序，不属于本文件的范围。
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