GB/T 32817-2016
半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

Semiconductor devices.Micro-electromechanical devices.Generic specification for MEMS

GBT32817-2016, GB32817-2016

GB/T 32817-2016 发布历史

本标准描述了用半导体制造的微机电系统(MEMS)的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。 本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统(Micro-TAS)和微能源MEMS]。

GB/T 32817-2016由国家质检总局 CN-GB 发布于 2016-08-29，并于 2017-03-01 实施。

GB/T 32817-2016 在中国标准分类中归属于: L55 微电路综合，在国际标准分类中归属于: 31.080.99 其他半导体分立器件。

GB/T 32817-2016 采用标准及采用方式

• MOD IEC 62047-4:2008半导体装置.微电机装置.第4部分:MEMS用总规范

GB/T 32817-2016 发布之时，引用了标准

• GB 3100 国际单位制及其应用
• GB/T 2423.1 电工电子产品环境试验.第2部分:试验方法.试验A: 低温
• GB/T 2423.10 环境试验 第2部分：试验方法 试验Fc: 振动(正弦)*， 2019-06-04 更新
• GB/T 2423.101 电工电子产品环境试验.第2部分:试验方法.试验:倾斜和摇摆
• GB/T 2423.102 电工电子产品环境试验.第2部分:试验方法.试验:温度(低温、高温)/低气压/振动(正弦)综合
• GB/T 2423.11 电工电子产品环境试验 第2部分: 试验方法 试验Fd: 宽频带随机振动--一般要求
• GB/T 2423.12 电工电子产品环境试验 第2部分: 试验方法 试验Fda: 宽频带随机振动--高再现性
• GB/T 2423.13 电工电子产品环境试验 第2部分: 试验方法 试验Fdb: 宽频带随机振动--中再现性
• GB/T 2423.14 电工电子产品环境试验 第2部分: 试验方法 试验Fdc: 宽频带随机振动--低再现性
• GB/T 2423.15 电工电子产品环境试验.第2部分: 试验方法.试验Ga和导则: 稳态加速度
• GB/T 2423.16 环境试验 第2部分：试验方法 试验J和导则：长霉*， 2022-07-11 更新
• GB/T 2423.17 电工电子产品环境试验.第2部分: 试验方法.试验Ka:盐雾
• GB/T 2423.18 环境试验 第2部分：试验方法 试验Kb：盐雾，交变（氯化钠溶液）*， 2021-05-21 更新
• GB/T 2423.19 环境试验 第2部分:试验方法 试验Kc:接触点和连接件的二氧化硫试验
• GB/T 2423.2 电工电子产品环境试验.第2部分:试验方法.试验B:高温
• GB/T 2423.20 环境试验 第2部分:试验方法 试验Kd:接触点和连接件的硫化氢试验
• GB/T 2423.21 电工电子产品环境试验.第2部分:试验方法.试验M:低气压
• GB/T 2423.22 环境试验.第2部分：试验方法.试验N：温度变化
• GB/T 2423.23 环境试验 第2部分:试验方法 试验Q:密封
• GB/T 2423.24 环境试验 第2部分：试验方法 试验S：模拟地面上的太阳辐射及太阳辐射试验和气候老化试验导则*， 2022-07-11 更新
• GB/T 2423.25 电工电子产品 环境试验.第2部分:试验方法.试验Z/AM:低温/低气压综合试验
• GB/T 2423.26 电工电子产品环境试验.第2部分:试验方法.试验Z/BM:高温/低气压综合试验
• GB/T 2423.27 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 试验Z/AMD:低温/低气压/湿热连续综合试验*， 2020-06-02 更新
• GB/T 2423.28 电工电子产品环境试验 第2部分;试验方法 试验T:锡焊
• GB/T 2423.29 电工电子产品环境试验 第2部分: 试验方法 试验U:引出端及整体安装件强度
• GB/T 2423.3 环境试验 第2部分：试验方法 试验Cab：恒定湿热试验*， 2016-12-13 更新
• GB/T 2423.30 环境试验 第2部分:试验方法 试验XA和导则:在清洗剂中浸渍
• GB/T 2423.31 电工电子产品基本环境试验规程 倾斜和摇摆试验方法
• GB/T 2423.32 电工电子产品环境试验.第2部分：试验方法.试验Ta: 润湿称量法可焊性
• GB/T 2423.33 环境试验 第2部分：试验方法 试验Kca：高浓度二氧化硫试验*， 2021-05-21 更新
• GB/T 2423.34 环境试验.第2部分：试验方法 试验Z/AD：温度/湿度组合循环试验
• GB/T 2423.35 环境试验 第2部分：试验和导则 气候(温度、湿度)和动力学(振动、冲击)综合试验*， 2019-06-04 更新
• GB/T 2423.36 电工电子产品环境试验 第2部分;试验方法 试验Z/BFc:散热和非散热试验样品的高温/振动(正弦)综合试验
• GB/T 2423.37 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验L:沙尘试验
• GB/T 2423.38 环境试验 第2部分：试验方法 试验R：水试验方法和导则*， 2021-05-21 更新
• GB/T 2423.39 环境试验 第2部分:试验方法 试验Ee和导则:散装货物试验包含弹跳*， 2018-12-28 更新
• GB/T 2423.4 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 试验Db 交变湿热(12h＋12h循环)
• GB/T 2423.40 环境试验 第2部分:试验方法 试验Cx:未饱和高压蒸汽恒定湿热
• GB/T 2423.41 环境试验 第2部分:试验方法 风压
• GB/T 2423.42 电工电子产品环境试验低温/低气压/振动(正弦)综合试验方法
• GB/T 2423.43 电工电子产品环境试验.第2部分:试验方法.振动、冲击和类似动力学试验样品的安装
• GB/T 2423.44 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验Eg:撞击 弹簧锤
• GB/T 2423.45 环境试验.第2部分：试验方法 试验Z/ABDM：气候顺序
• GB/T 2423.46 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 试验Ef：撞击 摆锤
• GB/T 2423.47 环境试验 第2部分：试验方法 试验Fg：声振*， 2018-12-28 更新
• GB/T 2423.48 环境试验 第2部分: 试验方法 试验Ff:振动 时间历程和正弦拍频法*， 2018-12-28 更新
• GB/T 2423.49 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验Fe:振动--正弦拍频法
• GB/T 2423.5 环境试验 第2部分:试验方法 试验Ea和导则:冲击*， 2019-05-10 更新
• GB/T 2423.50 环境试验 第2部分：试验方法 试验Cy: 恒定湿热 主要用于元件的加速试验
• GB/T 2423.51 环境试验 第2部分：试验方法 试验Ke：流动混合气体腐蚀试验*， 2020-06-02 更新
• GB/T 2423.52 电工电子产品环境试验 第2部分;试验方法 试验77:结构强度与撞击
• GB/T 2423.53 电工电子产品环境试验 第2部分;试验方法 试验Xb:由手的磨擦造成标记和印刷文字的磨损
• GB/T 2423.54 环境试验 第2部分：试验方法 试验Xc:流体污染*， 2022-07-11 更新
• GB/T 2423.55 电工电子产品环境试验 第2部分;试验方法 试验Eh:锤击试验
• GB/T 2423.56 环境试验 第2部分：试验方法 试验Fh：宽带随机振动和导则*， 2019-07-01 更新
• GB/T 2423.57 电工电子产品环境试验.第2部分:试验方法.试验Ei: 冲击.冲击响应谱合成
• GB/T 2423.58 电工电子产品环境试验.第2-80部分:试验方法.试验Fi: 振动.混合模式
• GB/T 2423.59 电工电子产品环境试验.第2部分:试验方法.试验.Z/ABMFh:温度(低温、高温)/低气压/振动(随机)综合
• GB/T 2423.6 电工电子产品环境试验 第2部分;试验方法 试验Eb和导则; 碰撞
• GB/T 2423.60 电工电子产品环境试验.第2部分:试验方法.试验U:引出端及整体安装件强度
• GB/T 2423.61 环境试验 第2部分:试验方法 试验和导则:大型试件砂尘试验*， 2018-12-28 更新
• GB/T 2423.62 环境试验 第2部分:试验方法 试验Fx和导则:多输入多输出振动*， 2018-12-28 更新
• GB/T 2423.63 环境试验 第2部分:试验方法 试验:温度(低温、高温)/低气压/振动(混合模式)综合*， 2019-05-10 更新
• GB/T 2423.7 环境试验 第2部分:试验方法 试验Ec:粗率操作造成的冲击（主要用于设备型样品）*， 2018-12-28 更新
• GB/T 2423.8 电工电子产品环境试验 第2部分;试验方法 试验Ed:自由跌落
• GB/T 2423.9 电工电子产品环境试验 第2部分;试验方法 试验Cb: 设备用恒定湿热
• GB/T 2424.1 环境试验 第3部分:支持文件及导则 低温和高温试验
• GB/T 2424.10 环境试验 大气腐蚀加速试验的通用导则
• GB/T 2424.11 环境试验 第2部分:试验方法 试验Kc:接触点和连接件的二氧化硫试验导则
• GB/T 2424.12 环境试验 第2部分:试验方法 试验Kd:接触点和连接件的硫化氢试验导则
• GB/T 2424.13 电工电子产品环境试验 第2部分;试验方法 温度变化试验导则
• GB/T 2424.14 电工电子产品环境试验 第2部分;试验方法 太阳辐射试验导则
• GB/T 2424.15 电工电子产品环境试验.温度/低气压综合试验导则
• GB/T 2424.17 电工电子产品环境试验.第2部分:试验方法.试验T:锡焊试验导则
• GB/T 2424.18 电工电子产品基本环境试验规程 在清洗剂中浸渍试验导则
• GB/T 2424.19 电工电子产品环境试验 模拟贮存影响的环境试验导则
• GB/T 2424.2 电工电子产品环境试验 湿热试验导则
• GB/T 2424.20 电工电子产品基本环境试验规程 倾斜和摇摆试验导则
• GB/T 2424.21 电工电子产品基本环境试验规程 润湿称量法可焊性试验导则
• GB/T 2424.22 电工电子产品基本环境试验规程 温度(低温、高温)和振动(正弦)综合试验导则
• GB/T 2424.23 电工电子产品基本环境试验规程 水试验导则
• GB/T 2424.24 电工电子产品环境试验 温度(低温、高温)/低气压/振动(正弦)综合试验导则
• GB/T 2424.25 电工电子产品环境试验 第3部分:试验导则 地震试验方法
• GB/T 2424.26 电工电子产品环境试验.第3部分:支持文件和导则.振动试验选择
• GB/T 2424.27 环境试验 支持文件和指南 温湿度试验箱不确定度计算
• GB/T 2424.5 环境试验 第3部分：支持文件及导则 温度试验箱性能确认*， 2021-05-21 更新
• GB/T 2424.6 环境试验 第3部分：支持文件及导则 温度/湿度试验箱性能确认*， 2021-05-21 更新
• GB/T 2424.7 电工电子产品环境试验试验A和B(带负载)用温度试验箱的测量
• GB/T 26111 微机电系统（MEMS）技术 术语*， 2023-05-23 更新
• GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
• GB/T 4728.1 电气简图用图形符号 第1部分:一般要求*， 2018-07-13 更新
• GB/T 4728.10 电气简图用图形符号 第10部分：电信：传输*， 2022-10-14 更新
• GB/T 4728.11 电气简图用图形符号 第11部分：建筑安装平面布置图*， 2022-10-14 更新
• GB/T 4728.12 电气简图用图形符号 第12部分：二进制逻辑元件*， 2022-10-14 更新
• GB/T 4728.13 电气简图用图形符号 第13部分：模拟元件*， 2022-10-14 更新
• GB/T 4728.2 电气简图用图形符号 第2部分: 符号要素、限定符号和其他常用符号*， 2018-07-13 更新
• GB/T 4728.3 电气简图用图形符号 第3部分:导体和连接件*， 2018-07-13 更新
• GB/T 4728.4 电气简图用图形符号 第4部分：基本无源元件*， 2018-07-13 更新
• GB/T 4728.5 电气简图用图形符号 第5部分：半导体管和电子管*， 2018-07-13 更新
• GB/T 4728.6 电气简图用图形符号 第6部分：电能的发生与转换*， 2022-10-14 更新
• GB/T 4728.7 电气简图用图形符号 第7部分：开关、控制和保护器件*， 2022-10-14 更新
• GB/T 4728.8 电气简图用图形符号 第8部分：测量仪表、灯和信号器件*， 2022-10-14 更新
• GB/T 4728.9 电气简图用图形符号 第9部分：电信：交换和外围设备*， 2022-10-14 更新
• GB/T 4937 半导体器件机械和气候试验方法
• IEC 60027 Symboles littéraux á utiliser en électrotechnique (Edition 4.0)
• IEC 60747-1:2006 半导体器件.第1部分:总则
• IEC 61193-2 质量评估系统.第2部分:电子元件和包装件检验用抽样检验方法的选择和使用

* 在 GB/T 32817-2016 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。

GB/T 32817-2016的历代版本如下：

• 2016年 GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

标准号

GB/T 32817-2016

别名

GBT32817-2016
GB32817-2016

发布

2016年

采用标准

IEC 62047-4:2008 MOD

发布单位

国家质检总局

当前最新

GB/T 32817-2016

 

 

引用标准

GB 3100 GB/T 2423.1 GB/T 2423.10 GB/T 2423.101 GB/T 2423.102 GB/T 2423.11 GB/T 2423.12 GB/T 2423.13 GB/T 2423.14 GB/T 2423.15 GB/T 2423.16 GB/T 2423.17 GB/T 2423.18 GB/T 2423.19 GB/T 2423.2 GB/T 2423.20 GB/T 2423.21 GB/T 2423.22 GB/T 2423.23 GB/T 2423.24 GB/T 2423.25 GB/T 2423.26 GB/T 2423.27 GB/T 2423.28 GB/T 2423.29 GB/T 2423.3 GB/T 2423.30 GB/T 2423.31 GB/T 2423.32 GB/T 2423.33 GB/T 2423.34 GB/T 2423.35 GB/T 2423.36 GB/T 2423.37 GB/T 2423.38 GB/T 2423.39 GB/T 2423.4 GB/T 2423.40 GB/T 2423.41 GB/T 2423.42 GB/T 2423.43 GB/T 2423.44 GB/T 2423.45 GB/T 2423.46 GB/T 2423.47 GB/T 2423.48 GB/T 2423.49 GB/T 2423.5 GB/T 2423.50 GB/T 2423.50-2012/IEC 60068-2-67 GB/T 2423.51 GB/T 2423.52 GB/T 2423.53 GB/T 2423.54 GB/T 2423.55 GB/T 2423.56 GB/T 2423.57 GB/T 2423.58 GB/T 2423.59 GB/T 2423.6 GB/T 2423.60 GB/T 2423.61 GB/T 2423.62 GB/T 2423.63 GB/T 2423.7 GB/T 2423.8 GB/T 2423.9 GB/T 2424.1 GB/T 2424.10 GB/T 2424.11 GB/T 2424.12 GB/T 2424.13 GB/T 2424.14 GB/T 2424.15 GB/T 2424.17 GB/T 2424.18 GB/T 2424.19 GB/T 2424.2 GB/T 2424.20 GB/T 2424.21 GB/T 2424.22 GB/T 2424.23 GB/T 2424.24 GB/T 2424.25 GB/T 2424.26 GB/T 2424.27 GB/T 2424.5 GB/T 2424.6 GB/T 2424.7 GB/T 26111 GB/T 2828.1 GB/T 4728.1 GB/T 4728.10 GB/T 4728.11 GB/T 4728.12 GB/T 4728.13 GB/T 4728.2 GB/T 4728.3 GB/T 4728.4 GB/T 4728.5 GB/T 4728.6 GB/T 4728.7 GB/T 4728.8 GB/T 4728.9 GB/T 4937 IEC 60027 IEC 60747-1:2006 IEC 61193-2 IECQ 03-3:2013

推荐

GB/T 32817-2016 中可能用到的仪器设备