DIN EN ISO 14644-17:2021
洁净室和相关受控环境 第17部分：粒子沉积率应用（ISO 14644-17:2021）；德文版 EN ISO 14644-17:2021
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 17: Particle deposition rate applications (ISO 14644-17:2021); German version EN ISO 14644-17:2021
- 标准号
- DIN EN ISO 14644-17:2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN ISO 14644-17:2019
- DIN EN ISO 14644-17:2021-06
- 当前最新
- DIN EN ISO 14644-17:2019
- DIN EN ISO 14644-17:2021-06
- 适用范围
- 本文件为洁净室中一个或多个易损表面上的颗粒沉积率测量结果的解释和应用提供了指导，作为污染控制计划的一部分。 它提供了一些关于如何影响
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