ISO 18114:2021
表面化学分析. 次级离子质谱法. 测定离子注入标样中的相对灵敏度系数
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
ISO 18114:2021 发布历史
ISO 18114:2021由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2021-05-00。
ISO 18114:2021 在中国标准分类中归属于: G04 基础标准与通用方法，在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。
ISO 18114:2021的历代版本如下：
- 2021年 ISO 18114:2021 表面化学分析. 次级离子质谱法. 测定离子注入标样中的相对灵敏度系数
- 2003年 ISO 18114:2003 表面化学分析.次级离子质谱法.测定离子注入标样中的相对灵敏度系数
本文件规定了一种根据离子注入参考材料确定二次离子质谱 (SIMS) 相对灵敏度因子 (RSF) 的方法。 该方法适用于基体化学成分均匀、注入物质峰值浓度不超过1个原子百分比的样品。
