用于平板玻璃 涂层和无涂层的颜色的仪器反射测量的标准实践 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
那么, KLA Instruments 能够为薄膜和涂层的测量提供怎样的解决方案呢?KLA于2019年收购了Filmetrcis公司。Filmetrics的测量仪器在测量薄膜和涂层时采用反射光谱原理,即:使不同波长的入射光在样品表面发生反射,然后对反射光谱进行分析。从薄膜顶部和底部界面反射的光线可能相位相同,从而增强反射;也可能相位相反,从而减弱反射。因此,反射光谱会出现特有的振荡式强度变化。...
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