PNS ISO 14644-14-2021
洁净室和相关受控环境.第14部分：通过空气颗粒浓度评估设备的适用性

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration

PNS ISO 14644-14-2021 发布历史

This part of PNS ISO 14644 specifies a methodology to assess the suitability of equipment (e.g. machinery, measuring equipment, process equipment, components and tools) for use in cleanrooms and associated controlled environments, with respect to airborne particle cleanliness as

PNS ISO 14644-14-2021由PH-BPS 发布于 2021。

PNS ISO 14644-14-2021 在中国标准分类中归属于: C70 工业防尘防毒技术，在国际标准分类中归属于: 13.040.35 清洁室（无菌室）及相关受控环境。

PNS ISO 14644-14-2021的历代版本如下：

• 2021年 PNS ISO 14644-14-2021 洁净室和相关受控环境.第14部分：通过空气颗粒浓度评估设备的适用性

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标准号

PNS ISO 14644-14-2021

发布日期

2021年

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

C70

国际标准分类号

13.040.35

发布单位

PH-BPS

适用范围

This part of PNS ISO 14644 specifies a methodology to assess the suitability of equipment (e.g. machinery, measuring equipment, process equipment, components and tools) for use in cleanrooms and associated controlled environments, with respect to airborne particle cleanliness as

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