DS/EN ISO 14644-17:2021
洁净室和相关受控环境 第17部分:粒子沉积率应用(ISO 14644-17:2021)

Cleanrooms and associated controlled environments – Part 17: Particle deposition rate applications (ISO 14644-17:2021)


 

 

非常抱歉,我们暂时无法提供预览,您可以试试: 免费下载 DS/EN ISO 14644-17:2021 前三页,或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准,
点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购(由第三方提供)。

 

标准号
DS/EN ISO 14644-17:2021
发布
2021年
发布单位
丹麦标准化协会
当前最新
DS/EN ISO 14644-17:2021
 
 

DS/EN ISO 14644-17:2021相似标准


推荐

圆派|对微粒污染进行清洁度分析

仅通过粒子计数器监测大气尘埃粒子,无法对当地环境中的颗粒沉积水平作出明确定论。颗粒的来源多种多样,通常与人员/员工、物流作业流程、包装、耗材以及生产过程密切相关。将 10 块沉降板放在关键过程位置,以便对清洁生产环境中的沉积物污染进行量化。沉降板会将沉积物颗粒收集在胶带上。沉降板经过七天暴露后,可以用一台光学显微镜进行评估。图 8 显示了 10 块沉降板的颗粒分析结果。...

模拟“污染”FOUP逸出AMC监测实例-化学电离质谱法

适合测量氨(NH3,m/z 17)、氢氟酸(HF,m/z 17)、PGMEA(m/z 132)硅氧烷(D5,m/z 371)等分子量在500以下的数百种小分子。Vocus ABC监测仪1分钟的检测限通常在1-10 pptv,满足绝大部分的AMC应用需求。...

一篇文章带你全面了解清洁度分析—基于显微镜的测量系统实现自动颗粒分析

监测当地环境中的颗粒沉积现象很多污染敏感产品对生产环境的要求非常高,此类产品必须在达到一定空气清洁度的洁净室中生产。仅通过粒子计数器监测大气尘埃粒子,无法对当地环境中的颗粒沉积水平作出明确定论。颗粒的来源多种多样,通常与人员/员工、物流作业流程、包装、耗材以及生产过程密切相关。将 10 块沉降板放在关键过程位置,以便对清洁生产环境中的沉积物污染进行量化。沉降板会将沉积物颗粒收集在胶带上。...

课堂 | 对微粒污染进行清洁度分析

仅通过粒子计数器监测大气尘埃粒子,无法对当地环境中的颗粒沉积水平作出明确定论。颗粒的来源多种多样,通常与人员/员工、物流作业流程、包装、耗材以及生产过程密切相关。将 10 块沉降板放在关键过程位置,以便对清洁生产环境中的沉积物污染进行量化。沉降板会将沉积物颗粒收集在胶带上。沉降板经过七天暴露后,可以用一台光学显微镜进行评估。图 8 显示了 10 块沉降板的颗粒分析结果。...





Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号