71.100.20 工业气体 标准查询与下载

BS EN IEC 63278-1:2024 适用于工业应用的资产管理 Shell 资产管理 Shell 结构

Asset Administration Shell for industrial applications - Asset Administration Shell structure

T/QGCML 2996-2024 高纯度变压吸附制氮系统

本文件规定了高纯度变压吸附制氮系统（以下简称“制氮系统”）的术语和定义、零部件、基本参数、设计条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于高纯度变压吸附制氮系统的生产、检验。

High purity pressure swing adsorption nitrogen production system

24/30434934 DC BS ISO 14687 氢燃料质量 产品规格

BS ISO 14687 Hydrogen fuel quality - Product specification

T/CHBAS 42-2023 电子工业用气体 磷烷混合气

本文件规定了电子工业用气体磷烷混合气（以下简称磷烷混合气）的技术要求、试验方法、检 验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用磷烷混合气，主要用作外延工艺的掺杂源、扩散工艺的扩散源和离子 注入源。磷烷混合气中平衡气多为氦气、氩气、氮气、氢气，也可以是其他不与磷烷发生化学反应， 且不影响反应工艺的气体。

Gas phospane mixture for electronic industry

T/CHBAS 41-2023 电子工业用气体 乙硼烷混合气

本文件规定了电子工业用乙硼烷混合气（以下简称乙硼烷混合气）的技术要求、试验方法、检 验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用乙硼烷混合气，主要用作外延工艺的掺杂源、扩散工艺的扩散源和离 子注入源。乙硼烷混合气中平衡气多为氦气、氩气、氮气、氢气，也可以是其他不与乙硼烷发生化 学反应，且不影响反应工艺的气体。

Gas diborane mixture for electronic industry

T/CHBAS 46-2023 电子工业用气体 六氟乙烷混合气

本文件规定了电子工业用气体六氟乙烷混合气（以下简称六氟乙烷混合气）的技术要求、试验 方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用六氟乙烷混合气，主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。 六氟乙烷混合气中平衡气多为氧气，也可以是其他不与六氟乙烷发生化学反应，且不影响反应工艺 的气体。

Gas hexafluoroethane mixture for electronic industry

T/CHBAS 43-2023 电子工业用气体 氙/氖混合气

本文件规定了电子工业用气体氙/氖混合气（以下简称氙/氖混合气）的技术要求、试验方法、检验 规则、标志、包装、运输和储存等。 本文件适用于电子工业用氙/氖混合气，其测定范围（体积分数）：氙气为0.1%～10%，其它组分比 例的氙/氖混合气可参考执行。

Gas xenon/neon mixture for electronic industry

T/CHBAS 47-2023 电子工业用气体 六氟丙烷

本文件规定了电子工业用气体六氟丙烷（以下简称六氟丙烷）的技术要求、试验方法、检验规则、 标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于以工业六氟丙烷为原料经纯化制备的电子工业用六氟丙烷，它在电子工业等离子蚀 刻工艺中作为蚀刻气体。

Hexafluoropropane gas for electronic industry

T/CHBAS 48-2023 电子工业用气体 五氟乙烷

本文件规定了电子工业用气体五氟乙烷（以下简称五氟乙烷）的技术要求、试验方法、检验规则、 标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于以工业五氟乙烷为原料经纯化制备的电子工业用五氟乙烷，它在电子工业等离子蚀 刻工艺中作为蚀刻气体。

Gas pentafluoroethane for electronic industry

T/CHBAS 50-2023 电子工业用气体 二氟甲烷

本文件规定了电子工业用气体二氟甲烷（以下简称二氟甲烷）的技术要求、试验方法、检验规 则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于以工业二氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用二氟甲烷，它在电子工业等离子 蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

Gas difluoromethane for electronic industry

T/CHBAS 45-2023 电子工业用气体 氟气混合气

本文件规定了电子工业用气体氟气混合气（以下简称氟气混合气）的技术要求、试验方法、检 验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用氟气混合气，主要用于激光气、汽车、制药工业中材料氟化处理等领 域。氟气混合气中平衡气多采用氮气、氖气或氦气，也可以是其他不与氟气发生化学反应，且不影 响反应工艺的气体。

Gas fluorine gas mixture for electronic industry

T/CHBAS 44-2023 电子工业用气体 氧/氮混合气

本文件规定了电子工业用气体氧/氮混合气（以下简称氧/氮混合气）的技术要求、试验方法、检验 规则、标志、包装、运输和储存等。 本文件适用于电子工业用氧/氮混合气，其测定范围（体积分数）：氧气为0.1%～50%，其它组分比 例的氧/氮混合气可参考执行。

Gas oxygen/nitrogen mixture for electronic industry

T/CHBAS 49-2023 电子工业用气体 一氟甲烷

本文件规定了电子工业用气体一氟甲烷（以下简称一氟甲烷）的技术要求、试验方法、检验规 则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于以工业一氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用一氟甲烷，它在电子工业等离子 蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

Gas fluoromethane for electronic industry

T/CI 234-2023 变压吸附（PSA）高纯制氮机

本文件规定了变压吸附（PSA）高纯制氮机的术语和定义、产品规格及参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、随机文件、包装、运输和贮存。 本文件适用于在常温下利用分子筛变压吸附法（PSA），氮氧从空气中分离制取氮气，并通过碳载纯化装置进行提纯，氮气含量不低于?99.999%，氮气产量不大于?800?Nm3/h的设备（以下简称“高纯制氮机”）。 注1：本文件中氮产量均为标准状态，即?0?℃、0.101 325?MPa（绝压）状态下的气体量，单位为立方米（m3）。  注2：压力值除注明者外均为表压值。

Pressure swing adsorption (PSA) high-purity nitrogen generator

T/CI 235-2023 变压吸附（PSA）高纯制氧机

本文件规定了变压吸附（PSA）高纯制氧机的术语和定义、产品规格及工况条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、随机文件、包装、运输和贮存。 本文件适用于在常温下利用氧分子筛变压吸附法（PSA），氮氧从空气中分离制取氧气，并使用氧气纯化装置进行提纯分离出氩气，氧气含量不低于?99%，氧气产量不大于?300?Nm3/h的设备（以下简称“高纯制氧机”）。 注1：本文件中氧产量均为标准状态，即?0?℃、0.101 325?MPa（绝压）状态下的气体量，单位为立方米（m3）。  注2：压力值除注明者外均为表压值。

Pressure swing adsorption (PSA) high-purity oxygen generator

HG/T 6254-2023 乙烷

Ethane

T/QGCML 2701-2023 变压吸附空分制氮设备

本文件规定了变压吸附空分制氮设备的术语定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本文件适用于变压吸附空分制氮设备的生产和检验。

Pressure swing adsorption air separation nitrogen production equipment

T/QGCML 2650-2023 可回收蒸汽余热膨胀发电装置

本文件规定了可回收蒸汽余热膨胀发电装置的术语和定义、构成及原理、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本文件适用于可回收蒸汽余热膨胀发电装置的生产及检验。

Recoverable steam waste heat expansion power generation device

T/SDAS 756-2023 氯碱工业氢气

本文件规定了氯碱工业氢气的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及安全要求。 本文件适用于氯碱工业电解盐水过程形成的氢气。主要用作生产纯氢、高纯氢、超纯氢的原料。

Chlor-alkali industrial hydrogen

T/NPCA 03-2023 EO/EG装置用致稳剂 甲烷氢

序号　项目　要求 1　甲烷,%(体积分数)　≥93.0 2　氢气,%(体积分数)　≤6.0 3　乙烷,%(体积分数)　≤0.1 4　乙炔,%(体积分数)　≤0.01 5　乙烯,%(体积分数)　≤0.5 6　一氧化碳,%(体积分数)        　≤1.0 7　二氧化碳,%(体积分数)　报告 8　C3 及以上组分,%(体积分数)   　 报告a 9　硫含量,mg/kg               　≤1.0 a 该指标也可根据双方协商确定。

Stabilizer methane hydrogen for EO/EG device