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产品参数
| 特性 | 分辨率 | 3 nm/30 kV | |
|---|---|---|---|
| 放大倍率 | 1X ~ 300,000X | ||
| 加速电压 | 1 kV ~ 30 kV | ||
| 图像检测 | 二次电子图像 (SE) | ||
| 背散射电子图像 (BSE) | |||
| 多探测器 (SE+BSE) | |||
| 探针与配件 | 灯丝类型 | 预对中型发叉式钨灯丝 | |
| 物镜光阑 | 固定光阑 | ||
| 二次电子探头 | 标配 | ||
| 背散射探头 | 选配 | ||
| 能谱仪EDS | 选配 | ||
| 样品室 | 控制方式 | 全自动阀 | |
| 涡轮分子泵 | 1台，240 L/S | ||
| 机械泵 | 1台，12 m³/h(50 Hz) | ||
| 样品室真空度 | 高真空下优于9 X 10-4 Pa | ||
| 样品台配置 | 三轴自动(标配) | 五轴自动(选配) | |
| 行程 | X:100 mm 电动 | X:115 mm 电动 | |
| Y:100 mm 电动 | Y:115 mm 电动 | ||
| Z:60 mm 电动 | Z:65 mm 电动 | ||
| / | R:-180°到+180° 电动 | ||
| / | T:0°到-75° | ||
| 最大样品尺寸 | 直径370 mm, 高68 mm | 直径370 mm, 高73 mm | |
| 软件 | 语言 | 中文 | |
| 操作系统 | Windows | ||
| 整机 | 尺寸(mm) | 长：923 mm，宽：833 mm，高：1650mm | |
| 使用条件 | 房间 | 长 ≥ 3000 mm，宽 ≥ 4000 mm，高 ≥ 2300 mm | |
| 温度 | 20 ~ 25 ℃ | ||
| 湿度 | ≤ 50% | ||
| 电气参数 | 电源AC 220 V（± 10 %），50 Hz，2 kVA | ||
| 地线 | 独立地线一条，小于4 Ω | ||
| 交流磁场 | ≤ 100 nT | ||
| 门宽 | 宽不小于900 mm，高不小于2000 mm | ||