SEM3100是一款性能更优的钨灯丝扫描电子显微镜。
本型号电镜可快速更换灯丝,使用维护更便捷。标配超大尺寸样品仓,最大可支持样品直径370 mm,高68 mm,可在1至300,000倍下观察样品,最高分辨率可达3 nm,使用场景更为广泛。
大腔体设计, 100 mm样品台或115 mm样品台(选配)
可放置最大样品直径370 mm,高68 mm
稳定的成像效果,超高的分辨率
多种探测器可供选配满足不同的应用需求
模块化的结构设计,易于维护及保养
纯中文界面操作简洁高效
符合人体工程学设计的旋钮控制板
稳定的成像效果,极高的分辨率。能够在高倍下对极细微形貌进行稳定观测,且得到的图像有很好的衬度和极高的分辨率。
芯片 加速电压15 kV
锡球 加速电压30 kV
配备有简单易用的导航系统,可以快速定位样品或样品局部区域,进行特征观测。针对生物样品,首先在较大视野范围内定位感兴趣区域,然后快速放大,观察其局部微观细节。
昆虫样品 加速电压10 kV
蜜蜂复眼 加速电压10 kV
支持低电压模式,同时保证成像稳定和高衬度。观察不导电样品时,可减轻表面荷电现象,使得成像过程稳定清晰。
有机纤维材料 加速电压5 kV
头发丝 加速电压5 kV
可实现高分辨率成像,轻松观察极细微尺寸。合金样品镁铝元素扩散的分层边界、纳米级尺度的锂电池材料在SEM3100下也依然清晰可见。
合金样品过渡区域 加速电压15 kV
碳纳米管附着物 加速电压15 kV
视野范围从毫米级到纳米级,实现了跨尺度大范围成像。在粉末冶金和金属表面形貌分析中,得到广泛应用。与此同时,软件提供的测量工具,还可以对颗粒和其他表面特征进行定量分析。
3D打印金属粉末原料 加速电压5 kV
3D打印金属块截面 加速电压15 kV
具备大景深成像能力,成像更具有三维空间感,突出主体的同时还可以表现细节。可适用于表面高低起伏较大的样品,如微电极针。
微电极针 加速电压15 kV
微电极针(放大) 加速电压15 kV
可选配背散射电子探测器。在背散射图像中,原子序数不同的区域,背散射电子产额也会不同,因而既可以显示纯形貌的几何衬度像,又可以用来反映试样中化学组分的分布衬度像。此外,背散射图像受样品表面荷电影响较小,可以对不导电样品进行直接检测。
金属镀层 SE和BSE对比加 速高压15 kV
可搭配不同种类的能谱仪,通过与EDS系统进行组合使用,可对试样表面的元素分布及含量进行分析。在工业生产、环境保护和科学研究领域应用广泛。SEM3100与各种探测器具有优良的兼容性,具有极强的应用拓展能力,可以覆盖更多应用场景。
金属镀层 加速电压15 kV 放大倍率80
元素谱峰
元素半定量值
特性 | 分辨率 | 3 nm/30 kV | |
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放大倍率 | 1X ~ 300,000X | ||
加速电压 | 1 kV ~ 30 kV | ||
图像检测 | 二次电子图像 (SE) | ||
背散射电子图像 (BSE) | |||
多探测器 (SE+BSE) | |||
探针与配件 | 灯丝类型 | 预对中型发叉式钨灯丝 | |
物镜光阑 | 固定光阑 | ||
二次电子探头 | 标配 | ||
背散射探头 | 选配 | ||
能谱仪EDS | 选配 | ||
样品室 | 控制方式 | 全自动阀 | |
涡轮分子泵 | 1台,240 L/S | ||
机械泵 | 1台,12 m³/h(50 Hz) | ||
样品室真空度 | 高真空下优于9 X 10-4 Pa | ||
样品台配置 | 三轴自动(标配) | 五轴自动(选配) | |
行程 | X:100 mm 电动 | X:115 mm 电动 | |
Y:100 mm 电动 | Y:115 mm 电动 | ||
Z:60 mm 电动 | Z:65 mm 电动 | ||
/ | R:-180°到+180° 电动 | ||
/ | T:0°到-75° | ||
最大样品尺寸 | 直径370 mm, 高68 mm | 直径370 mm, 高73 mm | |
软件 | 语言 | 中文 | |
操作系统 | Windows | ||
整机 | 尺寸(mm) | 长:923 mm,宽:833 mm,高:1650mm | |
使用条件 | 房间 | 长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm | |
温度 | 20 ~ 25 ℃ | ||
湿度 | ≤ 50% | ||
电气参数 | 电源AC 220 V(± 10 %),50 Hz,2 kVA | ||
地线 | 独立地线一条,小于4 Ω | ||
交流磁场 | ≤ 100 nT | ||
门宽 | 宽不小于900 mm,高不小于2000 mm |