K850WM是一款紧凑的台式仪器,设计用于临界干燥整个6〃/150 mm晶圆。一个方便的晶片支架允许样品快速转移,并确保不会发生预干燥。
温度范围:120℃
仪器尺寸:450mmW×350mmD×175mmH
腔室尺寸:φ32mm×47mmH
耐压范围:0-2500 p.s.i.
释放压力:1700 p.s.i
电源:220V
控温方式:全自动加热温度控制
放气方式:针阀减压放气
搅拌系统:磁力搅拌系统