【技术特点】-- 日本电子JEM-ACE200F 高效分析型电子显微镜

JEM-ACE200F将JEM-ARM200F和JEM-F200的硬件技术整合在一起，实现了高度稳定性和高分辨率，以精炼的外观设计呈现。该设备做成了操作流程菜单，按照该菜单，操作人员即使不直接操作设备也能采集到数据。

产品特点：

◇ 装置主体

● 可配置Cs校正器和CFEG

● 高速高精度的stage 与现有的马达驱动控制相比速度上提高了3倍、具备与Piezo驱动控制同等效力的微动控制能力。

◇ 操作简单

● 即使TEM的操作经验少也能直接操作设备

· 大量减少使用操作盘，直接按顺序点击显示画面上的按钮就能得到最终的图像

· 也可以用鼠标来进行调焦等操作

· 可以兼容GATAN CCD

● 自动调整功能

· 自动聚焦、自动调整样品高度、自动电子束传递、自动定位等

◇ 自动获取数据的功能

●按照操作菜单可自动获取数据

· TEM像、STEM像、元素面分布

· 可以对应栅格上的多个样品

◇ 和测长软件链接

● 在TEM上设定倍率可以对其他倍率进行校正

· 可以对多台JEM-ACE200F取得的数据自动测长

◇ 远程操作

● 可在隔壁房间操作设备

● 远程操作及多地同时观察（依赖于网络环境）

· 可与多个事务所一边讨论一边观察

◇ 封闭鏡筒，使环境耐受性提高

● 噪音、气流、室温变化得到了抑制

● 内壁装有吸音材料，可进一步防噪音

◇ 从分析仪器到分析工具

－STEM/TEM分析自动化、改进操作流程、品质管理稳定提高－

分析测试百科网讯 近日，日本电子总裁Gon-emon Kurihara对外宣布，日本电子将在2018年12月发布一款新型高通量分析电子显微镜—JEM-ACE200F，公司预设销售数量为30台/年。

　　产品开发背景

　　随着半导体工业中元器件进一步小型化，透射电镜已经成为元器件表征多种手段中必不可少的工具之一。这些工具，研究人员可以进行形态学观察、临界尺寸测量、元素分析、局部应变分析和掺杂浓度测量，尤其是半导体工业对形态观察、临界尺寸测量、元素分析等方面的数据采集提出了快速、稳定、高分辨率的要求，以便将这些数据采集反馈至制造过程。

　　针对以上需求，日本电子开发了一种全新的高通量TEM，即JEM-ACE200F。JEM-ACE200F可通过创建无需操作人员看管实际操作工作流程系统实现样品自动检测和数据自动生成。由于集成了JEM-ARM200F和FE-TEM JEM-F 200技术，JEM-ACE200F在性能和稳定性方面表现优秀，同时，其外观方面也进行了更为精致的设计。

新型高通量分析电子显微镜——JEM-ACE200F

　　主要特点：

　　高通量

　　与自动显微镜调谐功能(TEM/STEM)相结合的快速数据采集。

　　缩短抽真空时间，从插入样品杆到开始观察只需30秒。

　　友好的用户界面

　　基于日常显微镜操作的精密GUI。

　　所有的操作都可以通过鼠标操作来完成。

　　易于编程和更改流程方案

　　工作流程方案可以用直观的工具进行编程。

　　工作流程可以使用多种标准化的编程语言进行灵活涉及。

　　环保设计

　　采用高度环保的外壳。

　　远程操作。

　　

【技术特点对用户带来的好处】-- 日本电子JEM-ACE200F 高效分析型电子显微镜

【典型应用举例】-- 日本电子JEM-ACE200F 高效分析型电子显微镜