SBC-12小型离子溅射仪参数指标

技术指标：

• 真空检测：皮氏计

• 真空系统：两级直联旋片真空泵

• 工作气体：空气或氩气

• 真空保护：配有微量充气阀，用于调节离子流的大小

• 工作腔室：内径Ф100 x 130毫米

• 载物台：小载物台直径Ф40毫米, 可同时放六个样品杯；大载物台直径Ф60毫米

• 金靶尺寸：Ф58毫米