刻蚀速率

500μm/h

承载样品的zei大尺寸

11mm(宽度)×10mm(长度)×2mm(厚度)

样品摆动功能

刻蚀过程中，样品自动摆动±30° (zl：第4557130号)

自动加工开始模式

达到设定的压力值后可自动开始加工。

间歇加工模式

脉冲控制离子束流照射，可以抑制加工时产生的热量。

精抛加工模式

主加工结束后，自动开始精抛加工。