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日立高新FB2200聚焦离子束系统
参考成交价格：
500~700万元[人民币]
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加速电压 |
2 - 40 kV |
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zei大束流 |
60 nA 以上 |
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zei大束流密度 |
50A/cm2以上 |
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SIM分辨率 |
6 nm以上 |
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放大倍率 |
60× - 300,000× |
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离子光学 |
离子源 |
镓(Ga) |
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限束光阑 |
马达驱动为可选件 |
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透镜/偏转器 |
静电二级透镜/八极静电型偏转 |
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沉积 |
两种气源(钨和碳) |
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加工功能 |
盒状与矢径扫描图形加工 |
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图像采集 |
zei大 2,000 × 2,000 像素 |
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真空系统 |
镜筒 |
离子泵 × 2 |
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样品室 |
涡轮分子泵 × 1 |
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前级真空 |
机械泵 × 2(干泵可自选) |
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