1、60nA离子束电流,提高了样品制备效率
2、原位低加速电压,使样品制备损伤率更低
3、采用日立zl超薄样品制备技术(*),可制作出极微小的精度高的薄膜样品
4、与日立其它扫描电子显微镜,透射电子显微镜,扫描透射电子显微镜的样品杆互换共用,可快速简单转移样品,方便下一步观察和分析。
新一代样品制备系统,效率高,精度高,质量更高。
具有大面积离子束减薄能力,快速制备透射电子显微镜样品。
特点
60nA离子束电流,提高了样品制备效率
原位低加速电压,使样品制备损伤率更低
采用日立zl超薄样品制备技术*,可制作出极微小的精度高的薄膜样品
与日立其它扫描电子显微镜,透射电子显微镜,扫描透射电子显微镜的样品杆互换共用*,可快速简单转移样品,方便下一步观察和分析
*:可选件
**:照片中所显示的仪器包含可选件