蔡司GeminiSEM 500/300超高分辨率场发射扫描电镜参数指标

指标

分辨率： 0.6nm @15 kV；1.1nm @1kV；0.9nm@1kV（带串联decel选项）；1.2nm@0.5kV

放大倍数：20-2,000,000×

加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）

探针电流： 3pA-20nA（100nA可选）

低真空范围： 10-500Pa （GeminiSEM300 VP可用）

样品室： 330 mm（φ），270 mm（h）

存储分辨率：zei高到32k×24k像素

样品台：5轴优中心全自动   

X=130mm

Y=130mm

Z=50 mm

T=-3o-70o

R=360o 连续

系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制