项目 | 内容 |
电子枪 | 预对中灯丝 |
检测系统 | 高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器 |
加速电压 | 5 kV/15 kV |
倍率 | ×15~×60,000(使用数码变焦时:×240,000) |
观察压力 | 大气压模式(105 Pa)(装有隔膜时) |
负压模式(约103 Pa~105 Pa)(装有隔膜时) | |
低真空模式(数 Pa~数10 Pa)(拆下隔膜时) | |
zei大样品尺寸 | 直径55 mm |
大小和重量 | 主机:330(W)×687(D)×565(H)mm, 67.0 kg(手动操作台) |
控制装置:220(W)×368(D)×235(H)mm, 11.8 kg | |
隔膜泵:145(W)×256(D)×217(H)mm, 4.5 kg ×2台 |