不仅可在真空下,还可在大气压下进行SEM观察
含水样品也无需前处理即可直接观察
含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察
从低真空到大气压(数 Pa~105 Pa),可在大范围压力下进行SEM观察
标准搭载ES-Corrector(电子束散射校正)图像改善功能
在真空模式下,除了通常的SEM观察之外,还可进行EDX分析(选配)
主机采用330 mm宽度的小型设计,实现节省空间和高便利性
无需等待抽真空时间,快速实现从搭载样品到观察图像的全过程
样品设置在标准大气压环境下(105 Pa)
配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离,在保持SEM内部真空的同时,可对样品进行电子束照射观察
而且,可通过附带的真空泵在负压下(约103~105 Pa)进行观察
隔膜可拆卸,还可进行低真空SEM观察和EDX分析
搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器
图1:大气压或负压观察时
图2:低真空观察时
观察样例:
样品提供:旭化成株式会社 乙部先生
将浸水的纤维先在40 kPa下缓慢自然蒸发多余水分,然后在大气压下进行了观察。
首先观察到纤维之间的水分蒸发,然后是纤维内部的水分蒸发,并因此纤维本身收缩,zei后是整个样品收缩的情景。
根据此观察的结果以及纤维干燥时和含水时的直径测试结果,得出含水时膨胀30%,和含水时的纤维膨胀率。
试样提供:Zepto Co., Ltd.
在疏水性优异的此样品中,可看到油渗入纤维内,水分不会渗入,所以可观察到水分在纤维上的情景。
光学显微镜观察后,无需干燥处理即可在大气压下进行SEM观察。
在大气压下观察干燥的意大利面的表面后,在真空中观察同一样品,可观察到表面有大量裂纹。
推测是在真空环境下,样品内部的水分和空气蒸发时将试样表面破坏,即使是干燥的样品,如果想观察本来的形状,通过大气压SEM进行观察是一种有效的方法。
大肠杆菌经过培养后,用纯水稀释,涂抹在塑料板上,用甲醇固定后进行了观察(无染色)。
2015年9月1日在日本推出,2016年3月7日在美国推出