扫描器

XY扫描器

柔性制导闭环控制单模块扫描器

扫描范围50μm*50μm（可选10μm*10μm ，100μm*100μm）

平面偏移度:<2nm（全量程扫描）

Z扫描器

柔性制导强力扫描器

扫描范围15μm（可选30μm）

定位检测噪声：0.03nm（带宽：1kHz）

共振频率：>9kHz

表面成像噪声：<0.03nm（标准值 0.02nm）

样品台

样品尺寸： 50mm*50mm*20mm

样品重量：zei大500g

样品台移动范围：20mm*20mm