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一、准确成像， 无交叉耦合现象
●业界领先的XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动
●zei低的平面偏移度，全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米
●垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于0.015%
●优化水平扫描器Ringing现象，科学的正向sine-scan算法
二、准确扫描，真正的非接触模式
●业界领先的垂直扫描器，带宽超过9kHz，垂直伺服响应速度超过62mm/s
●非接触模式下zei快的扫描速度
●极低的探针磨损，能够保证长时间的高质量扫描
●极低的样品损伤
三、准确测量，真正的样品形貌
●采用业界领先的低噪声检测器测量样品形貌
●业界领先的极小正反测量偏离量，小于0.15%
●采用优化的散热部件，极大地降低了系统热票移和迟滞现象
●功能强大的先进隔音罩，舱体内部主地控温
四、用户工作效率
●开放式的设计，方便更换探针和样品
●探针预定位装夹设计，简单便键的测量激光调节过程，具有zl的自上主下
五、直视光路系统
●创新的“十秒进针”功能，探针可自动高速完成进针操作
●24位数字电控箱，三组内置锁存放大楼，具备Q-control和弹性常数校准准功能
