蔡司SUPRA™ 55场发射扫描电镜参数指标

　　分辨率： 1.0nm at 15 kV；1.7 nm at 1 kV；3.5nm at 0.2KV ；4.0nm at 0.1KV ；2.0nm at 30KV(VP mode)

　　放大倍数：12 - 900,000x

　　加速电压：0.1 - 30 KV

　　低压范围：2-133Pa 1Pa步进可调

　　探针电流：4 pA - 10 nA (4 pA - 20 nA 可选)

　　样品室： 330 mm (Ø) x 270 mm (h)

　　样品台： 5轴驱动

　　X = 130mm

　　Y = 130 mm

　　Z = 50mm

　　倾斜角T = -3 to 70°

　　R = 360°连续旋转

　　系统控制：基于Windows XP 的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制