SUPRA 55拥有第三代GEMINI 镜筒
它有独一无二的摆动缓冲系统,并结合了5轴驱动载物台,通过不断变换电压可以获得很高的分辨率。
可以在相对不稳定的环境下完成检测,完全分析型的场发射扫描电镜探针电流可达到20nA.