蔡司SUPRA™40超高分辨率场发射扫描电子显微镜 参数指标

　　分辨率：1.3nm@15kV，2.1nm@1kV，5.0nm @0.1kV，2.0nm@30kV(VP模式)，1.0nm@15kV，1.7nm@1 kV，4.0nm@0.1kV，2.0nm@30kV(VP模式)

　　放大倍数：12 - 900,000x

　　加速电压：0.02 - 30kV

　　束流：4 pA - 10 nA(可选配20 nA)

　　电子枪：热场发射型

　　VP真空度：2 - 133 Pa

　　标准探测器：In-lens二次电子探测器与样品 室内ET探测器 VP型号采用VPSE探测器

　　图象处理：分辨率：高达3072 x 2304像素;降噪：7种积分和平均模式

　　系统控制：基于Windows®XP的SmartSEM™

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