在整个电压范围内的超高分辨率,在低工作电压下精湛的分辨率和图像质量
电压范围zei低至0.1 kV,所需调整极少,
高束流,高稳定性,
高效In-lens二次电子检测器,可实现高分辨率的表面成像,
增强型VPSE探测器,可实现不导电试样的成像