1.分辨率
　　高真空模式　1.0nm at 15kV
　　1.8nm at 1kV
　　0.8nm at 30kV(STEM探测器)
　　低真空模式　1.5nm at 10kV(Helix探测器)
　　1.8nm at 3kV(Helix探测器)

　　2. 加速电压 200V - 30kV,连续可调

　　3. 电子束流范围 0.3pA - 100nA, 连续可调

　　4. 样品台移动范围
　　Nova NanoSEM 230: X=Y=50mm
　　Nova NanoSEM 430: X=Y=100mm
　　Nova NanoSEM 630: X=Y=150mm