超高分辨率Schottky场发射电子枪
全球唯一的超高分辨率低真空场发射扫描电镜. 具有高真空和低真空(<200Pa)两种真空模式.
对容易污染、容易电荷积累的纳米材料和纳米器件进行观察和分析
完全无油真空系统
可选配电子束曝光、电子束诱导沉积等纳米设计/加工功能
FEI公司基于Windows XP的-xT用户界面