SEM：分辨率:3.5nm at 30kV高真空模式、ESEM环境真空模式

　　SEM：加速电压200V-30kV

　　FIB：分辨率 7nm at 30kV;

　　FIB：加速电压 2-30kV

　　ESEM真空系统，样品室压力可达2600Pa

　　探测器：E-T二次电子探测器、LF GSED大视场气体二次电子探测器、GSED气体二次电子探测器、样品室红外CCD探测器