1.FEI ESEM环境扫描电镜技术和FIB聚焦离子束技术的完美结合; 采用FEIzei新的离子镜筒, zei大束流可达65nA
2.对样品表面和内部进行观察和分析,而无需样品制备
3.对观察图像和分析结果进行三维重构
4.适合各种样品,包括导电样品、不导电样品、含水含油样品等等
5.可安装3个GIS(气体注入系统)实现材料沉积或增强蚀刻 ; 多种GIS气体可选