日立高新S-4800冷场发射扫描电子显微镜参数指标

　　二次电子分辨率: 1.4nm (1 kV，减速模式);1.0nm (15kV)

　　电子光学：

　　电子枪: 冷场发射电子源

　　加速电压: 0.5~30kV(0.1KV/步，可变)

　　放大倍率: x 20~ x 800,000

　　物镜光阑: 4孔，真空外选择和调校(内置加热器)

　　检测器: 二次电子检测器 (高位/低位)

　　背散射电子检测器(可选)

　　EDX(可选)

　　透射电子检测器(可选)

　　法拉第杯(可选)

　　阴极荧光检测器(可选)

　　样品台: l型:

　　X: 0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360° 驱动:手动(可选3轴驱动)

　　ll型:

　　X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70° R: 360°驱动:PC机控制5轴驱动