日立高新S-4800冷场发射扫描电子显微镜技术特点

【技术特点】-- 日立高新S-4800冷场发射扫描电子显微镜

　　新型物镜采用zl的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。

　　1KV低加速电压,不使用减速功能,可保证有2.0nm的分辨率。

　　两种样品台可选：I型50mm x 50mm标准样品台或Ⅱ型110mm x 110mm大样品台。

　　包括磁悬浮涡轮分子泵在内的先进的真空系统。

　　光阑自清洁技术,避免了光阑的污染。

【技术特点对用户带来的好处】-- 日立高新S-4800冷场发射扫描电子显微镜

【典型应用举例】-- 日立高新S-4800冷场发射扫描电子显微镜