日本电子6700F高分辨扫描电子显微镜参数指标

技术参数：

1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.5nm(1kV) 

2.加速电压：0.1KV-30kV 

3.放大倍数：25-100万倍 

4.样品室尺寸：zei大200mm直径样品 

5.束流强度：1pA到200nA

二次电子像分辨率：1.0nm（15kv）/2.2nm（1kv）； 

背散射电子像分辨率：3nm（15kv，WD=8mm）；

EDS分辨率: MnKa小于136eV ；

EDS 元素分析范围：B5-U92 ；

　　分辨率：1.0nm(15kV)/2.2nm(1kV)

　　加速电压：0.5 kV -30kV

　　放大倍数：25-650K

　　样品室尺寸：zei大200mm直径样品

　　束流强度：10-13到2*10^-9