日本电子6700F高分辨扫描电子显微镜技术特点

【技术特点】-- 日本电子6700F高分辨扫描电子显微镜

　　1. 冷场发射电子枪：10^-8Pa order pressure in Gun;

　　2. 气锁式样品交换、全对中大样品台;

　　3. 全自动聚焦、消像散、合轴、控制扫描速度;

　　4. 样品台标配三轴马达却动，可选四、五轴马达驱动;

　　5. 半漏磁

JSM-7600F是日本电子株式会社2008年下半年推出的兼顾冷场的高分辨率和热场大束流为一体的热场发射扫描电镜，它几乎集成了当今扫描电镜的全部前沿技术，zei大200nA的大电流在保证高分辨率的同时，得到高速样品分析结果，空间分辨率极高，对导电性差的样品也有很多解决办法。JSM-7600F自动化程度高，操作直观方便，可以称得上是一款高档次的场发射扫描电镜。

主要特点：

1.主动式减震器

2.zei先进的磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护

3.标配的五轴马达驱动全对中样品台

4.全自动样品更换气锁

5.全自动样品监控系统

6.全自动物镜光阑

7.多通道显示系统

8.减速系统标准配置

9.能量过滤器标准配置

10.可以选配1.5nm高分辨LABE背散射电子探头

11.可以选配扫描投射探头（STEM）

冷场发射电子枪 强励磁圆锥透镜 高度集成化、自动化

主要附件：

背散射电子探头 英国OXFORD公司INCA EDS

主要用途：材料表面的微观形貌分析、材料中微区元素的定性、定量分析、线分析、面分析 ，材料失效分析等。

【技术特点对用户带来的好处】-- 日本电子6700F高分辨扫描电子显微镜

【典型应用举例】-- 日本电子6700F高分辨扫描电子显微镜