BS ISO 13084:2018
表面化学分析 二次离子质谱分析 飞行时间二次离子质谱仪的质量标度校准

Surface chemical analysis. Secondary ion mass spectrometry. Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer


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BS ISO 13084:2018

标准号
BS ISO 13084:2018
发布
2018年
发布单位
英国标准学会
当前最新
BS ISO 13084:2018
 
 
这个标准是关于什么的?本文件规定了一种优化用于一般分析目的的飞行时间二次离子质谱 (SIMS) 仪器质量校准精度的方法。它仅适用于飞行时间仪器,但不限于任何特定的仪器设计。为可以使用此程序优化的一些仪器参数以及适合校准质量标度以获得最佳质量精度的通用峰类型提供了指导

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BS ISO 13084:2018 中可能用到的仪器设备





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