GB/T 17874-2010
电子工业用气体 三氯化硼
Gases for electronic industry.Boron trichloride
- 标准号
- GB/T 17874-2010
- 发布日期
- 2011年01月14日
- 实施日期
- 2011年05月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB 190 GB/T 3723 GB 5099 GB 7144 GB/T 8984 GB 14193 GB/T 26571 《气瓶安全监察规程》（国家质量监督检验检疫总局发布，2000年）
- 被代替标准
- GB/T 17874-1999
- 适用范围
- 本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法及标志、包装、贮运及安全。 本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。