GB/T 17874-2010
电子工业用气体 三氯化硼
Gases for electronic industry.Boron trichloride
GBT17874-2010, GB17874-2010
2022-05
说明：
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- 标准号
- GB/T 17874-2010
- 别名
- GBT17874-2010
GB17874-2010 - 发布
- 2011年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 17874-2021
- 当前最新
- GB/T 17874-2021
- 引用标准
- 2000年） GB 14193 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 26571 GB/T 3723 GB/T 8984 《气瓶安全监察规程》（国家质量监督检验检疫总局发布
- 被代替标准
- GB/T 17874-1999
- 适用范围
- 本标准规定了三氯化硼的技术要求,试验方法以及包装标志、贮运及安全。 本标准适用于以粗制三氧化硼为原料,采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氧化硼,主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注人、干法蚀刻等工艺。 分子式:BCl 。 相对分子质量:117.1691(按2007 年国际相对原子质量计算)。