微束分析-扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法适用于对扫描电镜中影响能谱定量分析性能的相关参数和能谱仪基本参数的测定,并以元素成分定量分析结果对仪器做出综合评价。 ...
它是近代考察固体表面的强有力工具,广泛用于各种材料分析以及催化、吸附、腐蚀、磨损等方面的研究。俄歇电子能谱仪俄歇能谱仪包括电子光学系统、电子能量分析器、样品安放系统、离子枪、超高真空系统。以下只介绍核心的电子光学系统和电子能量分析器。俄歇电子能谱仪电子光学系统电子光学系统主要由电子激发源(热阴极电子枪)、电子束聚焦(电磁透镜)和偏转系统(偏转线圈)组成。...
1 X射线能谱仪的工作原理 当电子枪发射的高能电子束进入样品后,与样品原子相互作用,原子内壳层电子被电离后,由较外层电子向内壳层跃迁产生具有特定能量的电磁辐射光子,即特征X射线。X射线能谱仪就是通过探测样品产生的特征X射线能量来确定其相对应的元素,并对其进行相应的定性、定量分析。 2 扫描电镜中X射线能谱仪的应用 微区分析中,扫描电镜结合X射线能谱仪是微区形貌观察和成分分析最常用的手段。...
(5)具有元素深度分布分析的能力,需配合离子束剥离技术。(6)定量分析精度还不够高。俄歇电子能谱现已发展成为表面元素定性、半定量分析、元素深度分布分析和微区分析的重要手段。在材料研究领域具有广泛的应用前景。...
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