Si(Li)探测器类的 X 射线能谱仪已广泛地应用于电子探针和扫描电镜的分析领域,据不完全统计, 我国大约有500多台 X 射线能谱仪与电子探针或扫描电镜(包括透视电子显微镜)联用,已成为最为主要的微区元素分析的工具,发挥了重要的作用。但也存在着分析结果上的明显缺陷,严重地影响定量分析的质量,并导致许多不应有的研究成果谬误的 ...
通常来说,电子探针-能谱定量分析可能比较容易,而对于扫描电镜能谱定量分析,则难度较大,但也是完全可以实现的。 GB/T 20726-2006 ISO 15632:2002微束分析-半导体探测器X射线能谱仪通则,该标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪(EDS)特性最重要的量值。...
用细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品元素的特征x射线。 分析特征x射线的波长(或特征能量)即可知道样品中所含元素的种类(定性分析)。 分析x射线的强度,则可知道样品中对应元素含量的多少(定量分析)。 电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同,只是在检测器部分使用的是x射线谱仪,专门用来检测x射线的特征波长或特征能量,以此来对微区的化学成分进行分析。 ...
能谱仪(即X射线能量色散谱仪,简称EDS)通常是指X射线能谱仪。能谱仪首先是在扫描电镜和电子探针分析仪器上得到应用,其优点是可以分析微小区域(几个微米)的成分,并且可以不用标样。...
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