综合概述 

     SM230是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研 制而成的自动薄膜厚度测绘仪。它利用波长范围最宽 为200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有 一定程度的透射，SM230就能根据反射回来的干涉光 谱拟合计算出薄膜的厚度，其厚度最大测绘范围可以 达到5nm~250um，并支持测量点位路径绘制及支持以 2D/3D方式呈现测量结果。 

     SM230自动光学薄膜厚度测绘仪由测绘主机、测 绘平台、Y型光纤及上位机软件搭建而成，核心器件 采用高分辨率、高灵敏度光谱仪和高精度的直线与旋 转平台，结合奥谱天成独有的算法技术，为用户提供 的全新一代领先的自动光学薄膜厚度测绘仪。

产品特征 

 非接触式、非破坏性的测试系统； 

 超长寿命光源，更高的发光效率； 

 高分辨率、高灵敏度光谱仪，测绘结果更准确可靠； 

 软件界面直观，操作方便省时； 

 测绘速度快，支持多点测绘点位地图绘制； 

 支持绘制样品 2D/3D 厚度分布图； 

 高精度、长寿命的直线与旋转平台； 

 历史数据存储，帮助用户更好掌握结果； 

 桌面式分布设计，适用场景丰富； 

 维护成本低，保养方便；

应用领域 

     基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测绘，这几乎包含了所有的电介质和半导体材料，包括： 氧化硅、氮化层、类钻薄膜、多晶硅、光刻胶、高分子、聚亚酰胺、非晶硅等。 

 半导体镀膜：光刻胶、氧化物、淡化层、绝缘体上硅、晶片背面研磨; 

 液晶显示：间隙厚度、聚酰亚胺、ITO 透明导电膜; 

 光学镀膜：硬涂层、抗反射层； 

 微电子系统：光刻胶、硅系膜状物、印刷电路板； 

 生物医学：医疗设备、Parylene

产品外观