ATGX310系列光学薄膜厚度测量仪产品概述

光学薄膜厚度测量系统利用薄膜反射光干涉的原理，进行薄膜厚度测量及分析。

适合测量半导体、LCD、TFT、PDP、LED、触摸屏、汽车车灯、医学、太阳能、聚合物薄膜、眼镜等光学元件的膜厚测量。

工作原理光学薄膜厚度测量系统，是利用薄膜反射光干涉的原理，对薄膜进行厚度测量及分析。它利用波长范围最宽为200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，ATGX310就能根据反射回来的干涉光谱拟合计算出薄膜的厚度，最大测量范围可以达到10nm~250um

可以同时完成多达3层膜厚的测试。

核心部件使用ATP3010P高分辨率、高灵敏度光谱仪，多达4096像素元的CCD阵列，为测量结果的准确性提供了可靠的保证。

产品特点

不再需要耗时的基准校正，不再浪费更多的时间预热光源。ATGX310连接到计算机的USB端口，具有4000小时的光源，及内建光谱校准意味着几乎没有维护成本，更意谓着量测精确。

独特的暗箱室结构，可以让您在任何光亮环境中准确测量。

规格及参数

光学系统标准氘卤组合灯光源准直照明，积分球接收接收器：微型光纤光谱仪波长范围：200-1100

测量范围：0-100%

技术参数

波长准确度±0.5nm

波长重复性≤0.2nm

光谱带宽 1nm

杂散光≤0.05%

透射比准确度±0.5%

透射比重复性 ≤0.5%

应用范围

眼镜、太阳镜、防嗮保护膜各种光学元件、滤光片等平面玻璃、塑料制品手机显示屏、液晶屏其他透明或半透明材料实验搭建基于微型光纤光谱仪（ATP3010P）、R3测量支架（R3）、氘卤灯光源（ATG1020）、光纤准直镜（FIBH-2-UV）以及紫外光纤（FIB-600-UV）搭建的光学镀膜厚度测量系统。

ATGX310规格参数表

型号 | 波长范围 | 厚度范围 | 厚度分辨率 | 重复性 | 入射角 | 膜厚层数

ATGX310-VIS | 400-850nm | 50nm-20um | 0.1nm | 0.3nm | 90度 | 至多10层

ATGX310-XR | 250-1060nm | 10nm-100um | 0.1nm | 0.3nm | 90度 | 至多10层

ATGX310-DUV | 190-1100nm | 1nm-100um | 0.1nm | 0.3nm | 90度 | 至多10层

ATGX310-NIR | 900-1700nm | 100nm-250um | 0.1nm | 1.0nm | 90度 | 至多10层

样品材料 | 透明或半透明薄膜

测量模式 | 反射和透射

粗糙膜厚测量 | 可以

测量速度 | 最短1ms

是否能在线 | 能

光斑尺寸 | 标准：200um或400um 定制：100um

显微镜搭配 | 可以

CCD成像 | 可以

扫描选择 | 150mmX300mm

xy扫描平台 | 有

真空兼容 | 是