ATGX310系列光学薄膜厚度测量仪产品概述

光学薄膜厚度测量系统，是基于薄膜的反射光干涉原理，用于测量和分析薄膜厚度。适用于半导体、LCD、TFT、PDP、LED、触摸屏、汽车车灯、医学、太阳能、聚合物薄膜、眼镜等光学元件的膜厚测量。



工作原理

光学薄膜厚度测量系统，是基于薄膜的反射光干涉原理，用于测量和分析薄膜厚度。它利用波长范围为200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面，通过薄膜的透射，ATGX310能根据反射回来的干涉光谱拟合计算出薄膜的厚度，最大测量范围可达10nm~250um，能同时完成多达3层膜厚的测试。核心部件采用ATP3010P高分辨率、高灵敏度光谱仪，多达4096像素元的CCD阵列，为测量结果提供可靠的准确性。



产品特点

不再需要更多的基准校正和预热光源的时间浪费，您只需将ATGX310连接到计算机的USB端口，因为有着4000小时的光源，以及内建光谱校准，这几乎没有维护成本，更确保了测量的精确性。独特的暗箱室结构，可以确保在任何光亮环境中准确测量。



规格及参数

光学系统：标准氘卤组合灯光源准直照明，积分球接收接收器：微型光纤光谱仪波长范围：200-1100测量范围：0-100%



技术参数

波长准确度±0.5nm

波长重复性≤0.2nm

光谱带宽 1nm

杂散光≤0.05%

透射比准确度±0.5%

透射比重复性≤0.5%



应用范围

眼镜、太阳镜、防嗮保护膜各种光学元件、滤光片等平面玻璃、塑料制品手机显示屏、液晶屏其他透明或半透明材料实验搭建基于微型光纤光谱仪（ATP3010P）、R3测量支架（R3）、氘卤灯光源（ATG1020）、光纤准直镜（FIBH-2-UV）以及紫外光纤（FIB-600-UV）搭建的光学镀膜厚度测量系统。



ATGX310规格参数表

型号

ATGX310-VIS

ATGX310-XR

ATGX310-DUV

ATGX310-NIR

测量波长范围

400-850nm

250-1060nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范围

50nm-20um

10nm-100um

1nm-100um

100nm-250um

厚度分辨率

0.1nm

0.1nm

0.1nm

0.1nm

重复性

0.3nm

0.3nm

0.3nm

1.0nm

入射角

90度

90度

90度

90度

膜厚层数

至多10层

至多10层

至多10层

至多10层

样品材料

透明或半透明薄膜

透明或半透明薄膜

透明或半透明薄膜

透明或半透明薄膜

测量模式

反射和透射

反射和透射

反射和透射

反射和透射

粗糙膜厚测量

可以

可以

可以

可以

测量速度

最短1ms

最短1ms

最短1ms

最短1ms

是否能在线

能

能

能

能

光斑尺寸

标准：200um或400um

标准：200um或400um

标准：200um或400um

标准：200um或400um

定制：100um

定制：100um

定制：100um

定制：100um

显微镜搭配

可以

可以

可以

可以

CCD成像

可以

可以

可以

可以

扫描选择

150mmX300mm

150mmX300mm

150mmX300mm

150mmX300mm

xy扫描平台

xy扫描平台

xy扫描平台

xy扫描平台

真空兼容

是

是

是

是