Sigma系列产品是一款高品质成像和高级分析的场发射扫描电子显微镜。它具有灵活的探测功能和4步工作流程，通过高级的分析性能和成熟的Gemini电子光学元件相结合。用户可以根据需要选择多种探测器，用于颗粒、表面或纳米结构成像。

Sigma半自动的4步工作流程能够节省大量时间，同时提高效率。Sigma300具有高性价比，而Sigma500配备了*的背散射几何探测器，可快速方便地进行基础分析。不论任何时间、任何样品，都可以获得精准可重复的分析结果。

用户可以利用先进的探测技术对Sigma进行定制，用于清晰成像和获取成份信息。Sigma还具有自动化加速工作流程和可视化结果的功能。

Sigma*的背散射几何探测器大大提升了分析性能，特别是对电子束敏感的样品。基于成熟的Gemini技术，Gemini镜头的设计结合了电场与磁场对光学性能的影响，并将场对样品的影响降至更低。Geminiin-lens的探测确保了信号探测的效率。

用户还可以利用新的探测技术表征所有的样品，实现形貌和高分辨率的信息获取。此外，Sigma300还可提供集成式EDS解决方案，同时实现高清晰度成像和化学结构的指纹信息。

如果和拉曼成像联用系统，用户可获得样品分子结构和结晶信息。借助完全集成化的拉曼成像扫描电镜联用系统，用户还可以进行3D分析并与SEM图像关联。产品型号：Sigma 300
分辨率：30kVSTEM下的1.0nm、15kV下的1.0nm、1kV下的1.8nm
放大倍数：10-1,000,000×
加速电压范围：0.02-30kV，无需减速模式
探针电流：3pA～20nA（可选100nA）
稳定性优于0.2%/h
低真空范围：2-133Pa（适用于Sigma300VP）
样品室尺寸：直径365mm，高度275mm
样品台：5轴优中心全自动
X=125mm、Y=125mm、Z=50mm、T=-10o至90o、R=360o连续
系统控制：基于Windows7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制
存储分辨率：32kx24kpixels