产品场发射扫描电子显微镜技术参数
型号:Sigma 300
分辨率:1.0nm@30kVSTEM、1.0nm@15kV、1.8nm@1kV
放大倍数:10-1,000,000×
加速电压:调整范围:0.02-30kV(无需减速模式实现)
探针电流:3pA~20nA(100nA选配) 稳定性优于0.2%/h
低真空范围:2-133Pa(Sigma300VP可用)
样品室:365mm(φ),275mm(h)
样品台:5轴优中心全自动
X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10o-90o R=360o连续
系统控制:基于Windows7的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
存储分辨率:32kx24kpixels