产品描述
高频等离子表面处理装置
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型，DP和RIE标配的双模等离子清洗机，可对应更多复杂工艺.
● 标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为精确。
● 液晶触摸屏控制，操作使用简单，调取数据简单。
■ 安全性·保护
● 标准配备真空泄漏检测功能，可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。
● 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器，以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。
● 发生器保护回路：超负荷或者RF发生器发生问题时，可自动调低频率来保护发生器。
● 门锁开关：门在未完全关闭时无法启动电源。
● 侧板锁：本体侧板突然打开或者未关好时，会停止电源。
● 紧急停止按键（EMO）标准配备。
● 当装置发生异常时，装置本体发出警告信号的同时，进行以下动作1）关闭主阀。（2）关闭供气阀。（3）停止输出振荡器。(4)停止处理时间。（5）声光报警
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
●DP&RIE双模处理，可对应更复杂的工艺。
●搭载高精度适配器，高性能RF电源。
●可变电极构造提高等离子处理效果。
●安全保护措施绵密，有效防止对机器以及样品的损害。
●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。
■ 技术规格
型号 | V1000 | |
方式 | DP&RIE双模标准装备 | |
性能 | 发生器功率： | 0-1000W |
发生器频率： | 射频RF13.56Mhz | |
发生器匹配方式： | 自动匹配（Auto matching) | |
构成 | 腔体材质： | 铝制腔体 |
腔体内尺寸： | 400×400×384mm 约61.4L | |
电极尺寸： | 300mm×300mm | |
反应气体： | 双路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体 | |
填充气体： | 一路氮气 | |
控制方式： | 全自动控制，5.7寸液晶触摸屏 | |
真空度显示： | 测量高真空的电离式真空计标准配备，实时显示腔体内真空度 | |
配管材质： | SUS不锈钢以及特氟龙 | |
门： | 铰链门 | |
涂装颜色： | 标准色，白系 | |
外形尺寸： | W700×D800×H1600mm （高度含警报灯） | |
真空泵： | 无油干式真空泵 抽速100m3/hour，吸气口NW40,排气口NW25 | |
电源规格： | 3phase AC200V 50/60Hz 8A | |
重量： | 约215kg | |
附属品 | 真空管件一套、真空转接接头一套 |
